隔膜真空泵結構組成及工作原理

更新時間：2025-12-09

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隔膜真空泵是一種容積式真空泵，它通過柔性隔膜的往復運動來產生真空。以下是關于它的詳細介紹：

工作原理

隔膜泵的泵體由一個氣缸組成，隔膜在氣缸內上下運動，將壓縮腔室與驅動裝置隔離，進氣閥和排氣閥均為壓力控制閥。隔膜通過連桿與曲軸相連，真空泵運行時，在電機的驅動下，曲軸旋轉并帶動隔膜往復運動。當隔膜下移時，壓縮腔室容積擴大，壓力降低，氣體從高壓區域通過進氣口進入泵內；當隔膜向上運動時，壓縮腔室容積減小，氣體被壓縮并通過排氣閥排出。隨著隔膜不斷上下運動，實現持續的抽氣和排氣過程。

結構組成

隔膜：是泵的核心部件，通常由高性能彈性體或含氟聚合物制成，具有良好的柔韌性和耐腐蝕性，其作用是通過往復運動改變泵腔容積，同時將泵腔與驅動機構密封隔離。
泵頭：與隔膜一起構成密封泵腔，其內部幾何形狀通常設計成凹陷的 “圓頂" 形狀，以提高效率和真空度，材料多為聚四氟乙烯、不銹鋼或耐化學性樹脂等。
閥門系統：由進氣閥和排氣閥組成，通常為壓力激活的單向閥，如柔性活瓣閥、簧片閥或球閥，用于控制氣體的進出方向。
傳動系統：一般包括電機、曲軸、連桿等部件，其作用是將電機的旋轉運動轉換為隔膜的往復運動。