極限壓力（極限真空）

這是真空泵在規(guī)定條件下，經(jīng)充分抽氣后能達(dá)到的zui低穩(wěn)定壓力，單位為 Pa（帕斯卡），也常用 mbar、Torr 等單位（1Torr≈133.322Pa，1mbar=100Pa）。該參數(shù)直接決定了真空泵能達(dá)到的真空環(huán)境等級(jí)，比如粗真空泵極限壓力一般在 10^5~10^2Pa，高真空泵可低至 10^-7~10^-10Pa。

前級(jí)壓力

針對(duì)需要前級(jí)泵配合工作的真空泵（如擴(kuò)散泵、分子泵），指主泵正常工作時(shí)對(duì)前級(jí)泵出口壓力的要求，若前級(jí)壓力不達(dá)標(biāo)，主泵無法實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)的極限真空。

抽氣速率（抽速）

指在一定壓力和溫度條件下，真空泵單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器抽出氣體的體積，單位為 m3/h、L/s 等。抽速會(huì)隨入口壓力變化而改變，通常廠家會(huì)提供抽速 - 壓力特性曲線，例如某羅茨真空泵在入口壓力 100Pa 時(shí)抽速為 500m3/h，壓力降低后抽速會(huì)相應(yīng)衰減。

zui大入口壓力

真空泵能正常啟動(dòng)和工作的zui高入口壓力，超過該壓力可能導(dǎo)致泵體過載、過熱甚至損壞，比如水環(huán)真空泵的zui大入口壓力通常接近大氣壓。

壓縮比

指真空泵排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力的比值，反映泵對(duì)氣體的壓縮能力，壓縮比過高可能引發(fā)氣體返流，影響真空度。

啟動(dòng)時(shí)間

真空泵從開機(jī)到達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)所需的時(shí)間，對(duì)于需要快速建立真空環(huán)境的工藝（如半導(dǎo)體刻蝕）尤為重要。

功耗與溫升

真空泵額定工作時(shí)的功率消耗（單位為 kW）和工作過程中的溫度升高幅度，關(guān)系到設(shè)備的能耗成本和長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性，尤其是高真空設(shè)備對(duì)溫升控制要求嚴(yán)格。

水蒸氣容許量

真空泵在不影響性能的前提下，能抽除的水蒸氣zui大量，單位為 kg/h，對(duì)于真空干燥等含濕量高的工藝，該參數(shù)直接決定泵的適用性。

耐腐蝕性

針對(duì)有腐蝕性氣體的工況，衡量泵體材料和密封件對(duì)特定腐蝕性介質(zhì)的耐受能力，是化工、電鍍等行業(yè)選型的關(guān)鍵指標(biāo)。